Проектирование MEMS на системном уровне - исследуем моделирование и методологии моделирования

MEMS Устройства не только внедрялись в приложения, такие как инерционные измерительные модули и акустические датчики, но также и расширялись в оптике, микроструйной технике и био-MEMS. Успешные IC MEMS системы требуют моделирования на системном уровне. По этой причине проектирование MEMS на системном уровне и coвместное моделирование IC MEMS требует методологий моделирования и симуляции.

Успешная  методология моделирования и симуляции MEMS должна быть совместимой со средой проектирования IC.

В этом документе обсуждаются три методологии для моделирования и симуляции MEMS на системном уровне:

1.    Моделирование lumped элемента с эквивалентными схемами
2.    Иерархическая абстракция MEMS и аналитическое поведенческое моделирование
3.    Поведенческое моделирование MEMS на основе Анализа конечных элементов (FEA) и Boundary Element Analysis(BEA)

Чтобы узнать больше о MEMS проектировании, посмотрите Tanner AMS and MEMS Flows.