В этом документе обсуждаются 3 метода для успеха в MEMS моделировании и симуляции на системном уровне:
I. Моделирование элемента с эквивалентными схемами
II. Иерархическая абстракция MEMS и аналитическое поведенческое моделирование
III. Поведенческое моделирование MEMS на основе анализа конечных элементов (FEA) и Boundary Element Analysis (BEA)
Каждый их этих эффективных методов имеет свои собственные преимущества и ограничения – важно знать, когда использовать какой тип