Каков эффект таких стресс-факторов как движение, вибрация и температурные изменения на производительность MEMS -устройства? 
Понимание, как выполнить анализ конечных элементов (FEA), критически важно, чтобы гарантировать работу устройства MEMS как ожидается в реальности
Узнайте всё о анализе конечных элементов в нашем документе.
 MEMS: подготовка к анализу конечных элементов. 
Если Вы не пробовали работать с инструментами Tanner, пройдите тест-драйв полного процесса проектирования IC в Tanner AMS Virtual Lab.